設(shè)備簡(jiǎn)述
爐體尺寸 |
φ1100*H850 |
有效空間 |
φ550*H500 |
工件最大直徑*數(shù)量 |
φ150*8個(gè) |
濺射陰極 |
12ARC |
工作電壓/頻率 |
380V/50Hz |
實(shí)際功率 |
50KW |
應(yīng)用技術(shù) |
HCD+ARC |
靶材數(shù)量 |
12個(gè) |
極限壓力 |
5.0*10-4Pa |
漏率 |
<10-3Pa.L/s |
抽氣時(shí)間 |
大氣到4*10-3 <20分鐘 |
弧源數(shù)量 |
12個(gè) |
標(biāo)準(zhǔn)涂層 |
TiN、CrN、AlTiN等 |
其它復(fù)合涂層 |
TiSiN、TiAlCrN、TiAlCN等 |
工件轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu) |
下轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu) |
真空室結(jié)構(gòu) |
立式單開(kāi)門(mén) |
電源類(lèi)型 |
弧電源、脈沖偏壓電源、電子槍電源 |
真空系統(tǒng) |
分子泵、羅茨泵、旋片泵 |
生產(chǎn)周期 |
3-5小時(shí)/爐 |
外圍尺寸 |
L4000*W3200*H2200MM |
產(chǎn)量/爐 |
銑刀φ10*70 680 刀粒φ18*6 5000 滾刀φ80*80 48 模具500KG |
配套條件 |
水量:10T/H 壓縮空氣:4-6 KG/CM3
|
控制方式 |
手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC 自己開(kāi)發(fā)的鍍膜專(zhuān)用軟件 |
工作氣體 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
備注 |
真空室尺寸,外圍尺寸,設(shè)備外觀等可按客戶(hù)產(chǎn)品或及特殊工藝要求訂做 |
涂層 |
顏色 |
納米硬度(HV0.05) |
摩擦系數(shù) |
涂層厚度 um |
最高使用溫度℃ |
結(jié)構(gòu) |
主要特點(diǎn) |
應(yīng)用 |
TiN |
金黃色 |
2400 |
0.40 |
1-4 |
500 |
單層膜 |
通用的硬質(zhì)涂層 |
主要用于車(chē)削、銑削、鉆削及齒 輪類(lèi) 刀具的耐用涂層和成型、 注塑模 的防粘連,提高潤(rùn)滑性 及耐磨保護(hù) 涂層。 |
CrN |
銀灰色 |
2000 |
0.40 |
1-4 |
700 |
單層膜 |
通用的耐腐蝕膜層,低粘附傾向 |
具有良好的抗粘結(jié)性,抗腐性,耐磨性。幾乎適合加工所有材 料,包括高硅鋁、不銹鋼、高 鎳合 金、鈦和復(fù)合材料、注 塑模具、零 件、橡膠模具、硅 膠模具、半導(dǎo) 體封裝模具等。 |
TiCN |
藍(lán)灰色 |
3000 |
0.20 |
1-4 |
400 |
梯度復(fù)合膜 |
低摩擦系數(shù),高硬度 |
在TiN基礎(chǔ)上,提高了涂層的硬度、 并降低摩擦系數(shù),主要用于高速 鋼刀具、沖壓模具、成型模具。 |
TiAlN |
紫紅色 |
3500 |
0.40 |
1-4 |
850 |
單層復(fù)合膜 |
通用的硬質(zhì)抗氧化涂層 |
紅硬性良好,表面光潔度高,可用 于高速加工。適合模具鋼、HSS、 硬質(zhì)合金工具(加工材 料硬度低于 HRC45)、薄壁件 沖壓模具。 |
AlTiN |
紫黑色 |
3800 |
0.45 |
1-4 |
900 |
多層復(fù)合膜 |
超高硬度,抗氧化 |
具有極高的微硬度,熱硬度。適合 于具有高熱應(yīng)力的工具涂層,并 具備良好的耐熱沖擊性,有 快 速間斷切削應(yīng)用的優(yōu)先選擇。廣 泛用于硬質(zhì)合金工具(加工 材料 硬度低于HRC45)、壓鑄模具。 |
TiAlCrN |
灰色 |
3300 |
0.70 |
1-3 |
800 |
多層復(fù)合膜 |
高硬度,抗氧化,抗沖擊 |
中等切削速度下的硬質(zhì)材料機(jī)械加工 |
TiAlCN |
枚紅色 |
3500 |
0.20 |
1-4 |
800 |
梯度復(fù)合膜 |
高硬度,抗氧化 |
|
AlCrN |
灰黑色/深灰色 |
3200 |
0.35 |
1-4 |
1100 |
單層膜 |
非常高的抗氧化溫度和紅硬性 |
高速下的硬切削,中到高硬度材 料的銑削、滾銑,由于幾何 體產(chǎn)生高沖擊負(fù)載的工具上的應(yīng)用 |
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