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專(zhuān)業(yè)提供真空解決方案
多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)生產(chǎn)定制生產(chǎn)商

Professional vacuum solutions
Many years of industry experience in manufacturing customized manufacturers

專(zhuān)業(yè)值得信賴(lài)
專(zhuān)注值得托付

Professional and trustworthy
Focus is worth trusting

始終關(guān)注客戶(hù)需求，為客戶(hù)
企業(yè)和員工的共同發(fā)展而努力

Serving the life of science and
technology civilization.

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企業(yè)和員工的共同發(fā)展而努力

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企業(yè)和員工的共同發(fā)展而努力

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產(chǎn)品中心

IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)

　　設(shè)備用途：大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。

　　愛(ài)科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機(jī)為實(shí)現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計(jì)，本機(jī)為立式單腔體鍍膜機(jī)，是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等，例如，可見(jiàn)光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)物膜、可見(jiàn)光分光膜、可見(jiàn)光抗反射膜等，也可以為特定的簡(jiǎn)單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調(diào)試生產(chǎn)。

　　設(shè)備特點(diǎn)

　　1. 產(chǎn)品設(shè)計(jì)，由完美愛(ài)科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無(wú)縫對(duì)接整合，創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!

　　2. 真空獲得，重新優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空獲得系統(tǒng)，滿(mǎn)足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!

　　3. 蒸發(fā)源和離子源，合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù)，調(diào)試技術(shù)，實(shí)現(xiàn)工藝進(jìn)程自動(dòng)調(diào)節(jié)，電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!

　　4.自動(dòng)運(yùn)行控制系統(tǒng)，全新開(kāi)發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便!

　　設(shè)備簡(jiǎn)述

　　IKS-OPT2700是專(zhuān)為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設(shè)計(jì)的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)。鍍膜機(jī)系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測(cè)與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動(dòng)鍍膜等組成。

　　蒸發(fā)材料常用稀有金屬，如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。

　　可涂裝可見(jiàn)光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)膜、可見(jiàn)光分光膜、可見(jiàn)光防反射膜等

　　設(shè)備參數(shù)

爐體尺寸	Ф2700×H1670	工件架	φ2650*H420mm
真空度	極限真空:6×10^-4Pa(24小時(shí)空載，不加熱)	重量	8000kg,地板承重﹥1000kg/m2
漏率	＜4×10^-3Pa×L/S(氦撿漏)	溫度	室溫-250℃，溫度均勻性±5%
工作真空	6*10-3Pa（自動(dòng)工藝啟動(dòng)）	供電	三相電, 380V，50Hz，60-100KW
低真空	10 分鐘＜10Pa	水冷	腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機(jī)流量大于1600l/h
高真空	6 分鐘＜8×10^-3Pa	溫水	蒸發(fā)源1800l/h，35-60℃
真空測(cè)量	全程監(jiān)控，實(shí)時(shí)取點(diǎn)	占地	L6×w5.5×H3.5m
應(yīng)用	眼鏡、反光鏡、手機(jī)背板、防護(hù)罩、光通訊、光學(xué)顯示等